TENUIS II - Features

Main Characteristics

  • Standard reference process: highest efficiencies and low risk
  • More than 150 process modules in production (world leader)
  • Minimized chemical consumption
  • Fully automated inline system
  • Single side deposition incl. protection against backside contamination
  • Modular system (easy upgrade for higher throughput)
  • Reproducible process results
  • Automatic dosage and mixing system
  • Deposition systems for cadmium-free buffer layers
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