Pressemeldung

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Bernhard Krause
Singulus Technologies AG
Hanauer Landstrasse 103, 63796 Kahl am Main
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SINGULUS TECHNOLOGIES stellt neue Vakuum-Beschichtungsanlage ROTARIS vor
22. November 2012
  • Für F&E-Anwendungen im Halbleitermarkt
  • Eine Maschine bereits verkauft

Kahl am Main, 22.11.2012 – SINGULUS TECHNOLOGIES (SINGULUS) führt eine neue Beschichtungsanlage mit dem Produktnamen ROTARIS in den Markt ein. Die ROTARIS wird im Dezember 2012 auf der Fachmesse Semicon in Japan vorgestellt und wurde speziell für die angewandte Entwicklung in der Halbleitertechnik entwickelt. ROTARIS ist eine modular aufgebaute Maschinenplattform für präzise Beschichtungen im Ultrahoch-Vakuum (bis 10-8 mbar). Die neue Anlage trifft damit die Nachfrage zahlreicher Forschungsinstitute in der Halbleiterindustrie, die modular aufgebaute Entwicklungsplattformen benötigen, um die MRAM Speichertechnologie zur Marktreife weiterzuentwickeln. Mit der neuen Vakuum-Beschichtungsanlage, die nach dem Prinzip der Kathodenzerstäubung arbeitet, stärkt SINGULUS seine Marktstellung als Hersteller und Entwicklungspartner für innovative Beschichtungstechnologien für MRAM Wafer, Dünnschicht-Schreib-/Leseköpfe und weitere Halbleiter-Anwendungen und baut die führende Position in diesem Marktsegment weiter aus.

Die neue ROTARIS Anlage basiert auf dem TIMARIS „Rotating Substrate Module“ und ist dadurch für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen prädestiniert. Eine erste Maschine wurde bereits im ersten Halbjahr 2012 verkauft.

SINGULUS hat bereits die zweite Generation des TIMARIS PVD Cluster Tools im Markt etabliert und bietet ein komplettes Portfolio von Produktionsmodulen für ein breites Spektrum an Halbleiter-Anwendungen an. Aktuell sind sieben Prozessmodule verfügbar, mit denen die TIMARIS Plattform exakt gemäß den Kundenansprüchen konfiguriert werden kann.

„Unsere Vakuum-Beschichtungsanlagen sind immer mehr die Basis für die Entwicklung neuer Anwendungen in der Halbleitertechnik. Als führender Anbieter von Vakuum-Beschichtungsanlagen für MRAM Wafer, Schreib-/Leseköpfe und neue Halbleiteranwendungen sehen wir uns in einer hervorragenden Ausgangsposition für diesen Wachstumsmarkt“, kommentiert Dr. Stefan Rinck, CEO der SINGULUS TECHNOLOGIES AG.

Hintergrund SINGULUS TECHNOLOGIES:
SINGULUS TECHNOLOGIES ist Marktführer im Segment Optical Disc für CD, DVD und Blu-ray Disc Produktionsanlagen. Im Segment Solar hat SINGULUS das Ziel, sich in der Silizium- und Dünnschicht-Solartechnik an führender Stelle als Maschinenlieferant sowie Entwicklungspartner und Lieferant von Produktionsmaschinen für neue Zellkonzepte zu positionieren. Bei Herstellverfahren für CIGS/CIS Dünnschicht-Solarzellen ist SINGULUS in führender Position.

Die Aktivitäten im Geschäftsbereich Halbleiter für Vakuum-Beschichtungsanlagen werden intensiv verstärkt für Anwendungsgebiete wie MRAM, Sensoren und Schreib-/Leseköpfe. Weitere Anwendungsgebiete der Vakuum-Beschichtungstechnik stehen im Fokus der zukünftigen Entwicklung.

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