SINGULUS TECHNOLOGIES – Nanobeschichtungen für die Halbleitertechnik
Im Nanobereich werden extrem dünne Schichten von ca. 0,2 nm für Anwendungen in der Halbleitertechnik aufgetragen. Diese Prozesse werden in der modernen Sensortechnik im Bereich Medizin und beim Einsatz von Sensoren in der KFZ-Technik sowie von piezoelektrischen Materialien in der Mobilfunktechnik eingesetzt.
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